出于類(lèi)似的原因,來(lái)自掃描的光場(chǎng)數(shù)據(jù)也在更密集的“相位”數(shù)據(jù)點(diǎn)上進(jìn)行插值,并與半徑數(shù)據(jù)一起保存。我們還對(duì)光場(chǎng)數(shù)據(jù)進(jìn)行了采樣,以使數(shù)據(jù)量更小,并在下一步中更快地計(jì)算整個(gè)鏡頭的近場(chǎng)和遠(yuǎn)場(chǎng)結(jié)果。下圖顯示了不同采樣值下50 nm半徑的近場(chǎng)結(jié)果。選項(xiàng) 2:RCWA使用RCWA進(jìn)行超透鏡元原子仿真的工作原理與FDTD相同。